Презентация на тему: Разбор статьи « Study of and plasmas in a hollow cathode reactive ion etc h ing

Реклама. Продолжение ниже
Разбор статьи « Study of and plasmas in a hollow cathode reactive ion etc h ing reactor using Langmuir probe and optical emission spectroscopy techniques »
Введение в статью Ключевые моменты:
HCRIE реактор
Зонд Ленгмюра
Актинометрия
Эффективная температура
Результаты по влиянию питания
Результаты по влиянию концентрации кислорода
Результаты по генерации атомов фтора
Итоги:
Спасибо за внимание!
1/11
Средняя оценка: 4.9/5 (всего оценок: 71)
Код скопирован в буфер обмена
Скачать (612 Кб)
Реклама. Продолжение ниже
1

Первый слайд презентации: Разбор статьи « Study of and plasmas in a hollow cathode reactive ion etc h ing reactor using Langmuir probe and optical emission spectroscopy techniques »

Выполнил Лисовский Степан

Изображение слайда
Изображение для работы со слайдом
Изображение для работы со слайдом
1/3
2

Слайд 2: Введение в статью Ключевые моменты:

Использование HCRIE реактора Использование зондов Ленгмюра Использование актинометрии Понятие эффективной температуры Исследование влияния питания Исследования влияния дополнительного кислорода Исследование генерации атомов фтора

Изображение слайда
1/1
3

Слайд 3: HCRIE реактор

Изображение слайда
Изображение для работы со слайдом
1/2
4

Слайд 4: Зонд Ленгмюра

Изображение слайда
Изображение для работы со слайдом
Изображение для работы со слайдом
Изображение для работы со слайдом
1/4
5

Слайд 5: Актинометрия

Изображение слайда
Изображение для работы со слайдом
Изображение для работы со слайдом
Изображение для работы со слайдом
Изображение для работы со слайдом
1/5
6

Слайд 6: Эффективная температура

Изображение слайда
Изображение для работы со слайдом
Изображение для работы со слайдом
Изображение для работы со слайдом
1/4
7

Слайд 7: Результаты по влиянию питания

Изображение слайда
Изображение для работы со слайдом
Изображение для работы со слайдом
Изображение для работы со слайдом
1/4
Реклама. Продолжение ниже
8

Слайд 8: Результаты по влиянию концентрации кислорода

Изображение слайда
Изображение для работы со слайдом
Изображение для работы со слайдом
Изображение для работы со слайдом
1/4
9

Слайд 9: Результаты по генерации атомов фтора

Изображение слайда
Изображение для работы со слайдом
1/2
10

Слайд 10: Итоги:

При малых давлениях и высоком питании ФРЭ би-Максвелловская С увеличением давления концентрация электронов уменьшается Температура резко увеличивается от 6 до 18эВ с увеличением давления от 6,3 до 56,6мТорр при фиксированном питании Концентрации положительных и отрицательных ионов практически равны Концентрация электронов может быть увеличена добавлением кислорода, однако температура уменьшится Скорость травления в плазме с высокой концентрацией атомов фтора – 2-5 мкм/мин

Изображение слайда
1/1
11

Последний слайд презентации: Разбор статьи « Study of and plasmas in a hollow cathode reactive ion etc h ing: Спасибо за внимание!

Изображение слайда
1/1
Реклама. Продолжение ниже