Презентация на тему: Разбор статьи « Study of and plasmas in a hollow cathode reactive ion etc h ing

Разбор статьи « Study of and plasmas in a hollow cathode reactive ion etc h ing reactor using Langmuir probe and optical emission spectroscopy techniques » Введение в статью Ключевые моменты: HCRIE реактор Зонд Ленгмюра Актинометрия Эффективная температура Результаты по влиянию питания Результаты по влиянию концентрации кислорода Результаты по генерации атомов фтора Итоги: Спасибо за внимание!
1/11
Средняя оценка: 4.9/5 (всего оценок: 71)
Скачать (612 Кб)
Код скопирован в буфер обмена
1

Первый слайд презентации: Разбор статьи « Study of and plasmas in a hollow cathode reactive ion etc h ing reactor using Langmuir probe and optical emission spectroscopy techniques »

Выполнил Лисовский Степан

2

Слайд 2: Введение в статью Ключевые моменты:

Использование HCRIE реактора Использование зондов Ленгмюра Использование актинометрии Понятие эффективной температуры Исследование влияния питания Исследования влияния дополнительного кислорода Исследование генерации атомов фтора

3

Слайд 3: HCRIE реактор

4

Слайд 4: Зонд Ленгмюра

5

Слайд 5: Актинометрия

6

Слайд 6: Эффективная температура

7

Слайд 7: Результаты по влиянию питания

8

Слайд 8: Результаты по влиянию концентрации кислорода

9

Слайд 9: Результаты по генерации атомов фтора

10

Слайд 10: Итоги:

При малых давлениях и высоком питании ФРЭ би-Максвелловская С увеличением давления концентрация электронов уменьшается Температура резко увеличивается от 6 до 18эВ с увеличением давления от 6,3 до 56,6мТорр при фиксированном питании Концентрации положительных и отрицательных ионов практически равны Концентрация электронов может быть увеличена добавлением кислорода, однако температура уменьшится Скорость травления в плазме с высокой концентрацией атомов фтора – 2-5 мкм/мин

11

Последний слайд презентации: Разбор статьи « Study of and plasmas in a hollow cathode reactive ion etc h ing: Спасибо за внимание!

Похожие презентации

Ничего не найдено